松下測量和測量系統(tǒng)的優(yōu)勢

高標(biāo)準(zhǔn)的三維測量機UA3P可以適應(yīng)許多領(lǐng)域。

超高精度測量（實現(xiàn)單納米可重復(fù)性）

使用接觸測量（旋轉(zhuǎn)對稱的非球面和自由形式表面）的絕對形狀評估

復(fù)雜形狀的靈活的NC路徑

從測量數(shù)據(jù)（例如Zerinike Anallys）中實現(xiàn)各種分析

還可以評估表面和外部形狀之間的偏心率（例如，非球面，自由形式的表面，晶圓鏡片）

即使在復(fù)雜的形狀中也可以測量表面粗糙度

可以在沒有設(shè)計公式的情況下進行測量和評估

使用CAD數(shù)據(jù)評估

通過自動測量進行工作水平和勞動節(jié)省

松下測量和測量系統(tǒng)的功能

松下 Panasonic測量和測量系統(tǒng)協(xié)調(diào)測量技術(shù)

測量機的坐標(biāo)系由獨立于階段的三個參考平面（鏡子）組成，每個XYZ軸都使用激光干涉儀，使用頻率穩(wěn)定的HE-NE激光作為光源來測量0.3 nm的分辨率。這降低了舞臺的平方和直率的影響，從而實現(xiàn)了高精度的測量。

坐標(biāo)軸引起的測量誤差：在0.05μm內(nèi)（高達(dá)100毫米），在0.3μm以內(nèi)（高達(dá)500 mm）

協(xié)調(diào)測量技術(shù)

測量探針

通過超低測量力，可以對測量物體進行高精度掃描測量。

手寫筆由微型空氣滑塊持有，焦點激光器檢測出手寫筆的運動，并根據(jù)測量對象的形狀遵循AFP的位置，以使測量力是恒定的。

測量力：0.15-0.30 MN（15-30 mgf） *UA3P-3100/4000為0.05-0.30 MN，UA3P-5000H為0.10-0.30 MN

手寫筆：角度30度，r =2μm鉆石手寫筆可以使用

測量探針

核心軟件技術(shù)

通過簡單操作實現(xiàn)高精度測量。它可以處理任何設(shè)計信息，并且可以通過以三維方式糾正測量對象的安裝錯誤來進行準(zhǔn)確的形狀測量。